| 送交者: 笑鸠[♂★★★声望勋衔14★★★♂] 于 2024-03-21 0:21 已读 12046 次 | 笑鸠的个人频道 |
示验证方案于23年8月动工兴建。 6park.com对比清华炒作的沸沸扬扬的自由电子激光SSEMB-EUV极紫外“光刻厂”方案，四川九院（中国工程物理研究院）与四川省政府合作共投资3.24亿元的自由电子激光100瓦euv光源“光刻厂”小型演示验证方案于23年8月动工兴建 6park.com
2023.8.26-#成都双流区#四川省重大科技基础设施红外太赫兹自由电子激光装置项目开工现场推进活动圆满举行 来源：中物院 时间：2023-08-26 15:35 2023年8月26日上午，由中物院成都科技中心主办、中物院应用电子学研究所承办的四川省重大科技基础设施——红外太赫兹自由电子激光装置项目开工现场推进活动，在银河·596科技园区隆重举行。四川省发展和改革委员会副主任杨昕、创新与高技术发展处副处长冯亮，成都市发展和改革委员会总工程师李椿、高技术发展处处长张实睿，双流区委常委、常务副区长陈华，双流区发改局党组书记、局长曾学良，中物院计划部科技与能力发展处处长吴仲成，中物院计划部资源调配与管理处处长徐刚，中物院成都科技中心党委书记、主任刘彤，中物院应用电子学研究所主要领导及嘉宾应邀参加活动。 刘彤在致辞中表示，成都科技中心作为项目业主单位，将切实履行主体责任，全力推进项目实施，规范项目管理，落实全景计划，严格经费管控，积极推进项目进度和成果转化，努力推动项目的科技优势、人才优势与双流区的产业优势和资源优势紧密结合，促成更多成果和项目在蓉落地。 应用电子学研究所领导在致辞中表示，应用电子学研究所作为项目的承建单位，将切实做好项目的实施工作，把大装置建设各项工作做好，促进成果转化落地四川、落地双流。 陈华在致辞中指出，该项目是双流区第三个大科学装置项目，双流区委、区政府高度重视，将把支持项目建设作为贯彻落实习 近 平 总 书 记来川视察提出的“推进科技创新和科技成果转化同时发力”重要指示精神的具体举措，通过深化合作，推动更多的科技成果在生物医药、航空维修、电子信息等领域持续转化 李椿在致辞中指出，成都市委、市政府高度重视科技创新工作和科技基础设施建设，红外太赫兹自由电子激光装置项目建设意义重大，对未来的产业领域、生命健康领域及经济社会发展领域有重大的促进作用，市发改委将按照市委市政府的部署安排，积极服务好、推动好这一重大项目的建设。 杨昕在致辞中指出，该项目是四川省布局的重大科技基础设施之一，是四川创新体系的重要组成部分。省发改委将一如既往的全力支持并做好服务工作，共同推动以大科学装置为代表的重大项目建设，尽快见到实效。在设施的建设运行过程中要确保工程质量和安全，加强重点用户的培养合作，建立完善开放共享机制，着力推动科技成果转化和产业化，为生物技术、新材料等战略性新兴产业发展提供支撑，加快把创新资源优势转化为高质量发展优势。 后，与会领导共同宣布了项目现场开工并合影留念。会后，参会人员参观了实验室并做了进一步交流。 项目背景 项目批复概算投资17460万元，省市区配套资金14960万元。该项目作为四川省重大科技基础设施重点项目，已纳入首批成渝(兴隆湖)综合性科学中心的重大科技基础设施以及四川省、成都市和双流区“十四五”规划。项目建成后，不仅可以吸引广大光源用户在生物、材料、成像与检测、电子束应用方面产生国际一流的科技成果，而且可以推动航空维修检测、医药及健康服务、集成电路等产业发展，充分发挥其创新带动能力和产业集聚效应，有力支撑成渝地区建设具有全国影响力的科技创新中心。 中物院正在建设一台红外太赫兹自由电子激光装置，该装置同时可以作为一个小型的能量回收型直线加速器(ERL)实验研究平台，用于开展ERL 关键物理与技术研究，为ERL 技术发展提供技术积累   [  ] 6park.com能量回收型直线加速器(ERL)不需要大功率微波源就能实现高平均流强电子束的加速，显著提高了能量利用率，节省了微波功率源的建造和运行成本。同时，大幅减小了废弃电子束沉积在垃圾靶上的束流功率，避免了中子活化辐射，降低了辐射污染水平。因此，基于ERL 技术的FEL 光源，为高功率极紫外光刻光源发展提供了一条新的技术路线。 [ ] 6park.com九院的总投资约41亿元的数千瓦级“光刻厂”方案看来好似没有被国家批准，准备先自筹资金和四川省合作上一个小型的演示验证方案 [ ] 6park.com先前报道：九院十所这一方案可以产生数千瓦至数万瓦的13.5nm波长的极紫外光功率，采用单台光源可支撑起数十台极紫外光刻机，也被ASML公司等单位认为是下一代超大规模集成电路生产的新光源方案，也为我国解决光刻卡脖子问题找到一个重要的突破口。 [ ] 6park.com 6park.com 6park.com |
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