通过华为自研芯片一事，很多人都明白了芯片研发对于智能手机品牌发展的重要性，但同时制造芯片也是一件不可忽略的事情。制造芯片的光刻机市场还牢牢捏在荷兰一家名为ASML企业的手中，按照销售数量统计，这家企业占据了全球光刻机市场的近90%的市场份额，尤其是在高端的极紫外光(EUV)领域，ASML处于完全垄断地位。

近日，中国北京华卓精科科技股份有限公司拟登陆科创板，而根据华卓精科官网显示，这家中国企业让人惊喜的地方在于，其生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术上的垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。



光刻机是制造规模集成电路，也就是手机、电脑等芯片的核心装备。为了能够将设计图形制作到小小的硅片上，并在一颗芯片上集成数十亿、甚至上百亿的晶体管，光刻机需达到十几纳米甚至几纳米的更高的图像分辨率。而对于拥有这样技术的光刻机来说，其实核心部件并不多，就两个，一个是EUV曝光系统，另一个是双工件台。华卓精科所突破的技术就是后者。



而在EUV曝光系统方面，中国目前主要是中科院长春光机所在研究，从2002年开始，历经多年的发展，也只才交出了32nm线宽的EUV光刻曝光系统。虽然有了不小的突破但与国际先进水平仍有不小的差距。双工件台的研发之路同样充满坎坷。

围绕双工件台系统的研发，华卓精科的研究团队先后完成了专利申请231项，其中国际发明专利41项，已获得授权122项，培养了一支近200人的研发团队，才建立了高水平研发平台。这才生产出了主要应用于65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描双工件台光刻机、KrF步进扫描光刻机，单台系列产品应用于i线、g线步进扫描光刻机及封装光刻机等一系列产品。



从以上介绍的几个方面看来，华卓精科确实在光刻机双工件台技术上拥有着自己核心的优势，但是现在从市场的角度来看，光刻机双工件台的客户主要还是光刻机整机厂商，但是目前近90%的光刻机市场都被荷兰的ASML企业所占据，华卓精科对整个光刻机市场的出货和影响还是非常小的。因此，现在华卓精科只是看上去营收和利润增长非常快，实际的规模相比较荷兰ASML来说非常的微小了。华卓精科一年的营收可能还不如ASML一台EUV光刻机的销售额的1/10高。



但是如今是技术是整个市场发展的关键，只要拥有了顶尖的技术就不愁市场规模的发展。现在，华卓精科在光刻机双工件台技术上有了突破性的发展，为我国自主研发65nm至28nm 双工件干台式及浸没式光刻机奠定了基础，其战略意义远高于其所带来的营收及利润。随着国产半导体产业发展的飞速发展，国内对于光刻机市场空间约为37.68 亿美元、51.12 亿美元。而在国产替代的大趋势之下，国产光刻机产业有望迎来高速发展。
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