南大光电光刻机已经完成安装，目前正在调试阶段
 
小如·08-07 17:33·本土IC 来源:
                         爱集微
 
集微网消息，8月7日，南大光电在互动平台答投资者提问时表示，光刻机已经完成安装，目前正在调试阶段。

今年4月16日，宁波南大光电材料有限公司浸没式光刻机搬入仪式举行。宁波南大光电材料有限公司是江苏南大光电材料股份有限公司于2018年1月在北仑区芯港小镇成立的光刻胶配套材料子公司。项目总投资15.6亿元，年产25吨ArF光刻胶。
据北仑新闻网此前报道，这台193纳米光刻机进厂后，南大光电后期也将建成国内第一个专业用于ArF光刻胶产品开发和生产的检测评估平台，同时建立配套完整的国产光刻胶产业链。（校对/若冰）