博康信息:光刻胶行业“未来可期”,驶入规模化应用蓝海
在国产化大趋势之下,国内晶圆厂持续积极推动国产半导体材料验证,各细分材料领域均涌现一批优秀的国产企业,在光刻胶领域同样如此。其中,成立于2010年3月的徐州博康,是一家集研发、生产、经营集成电路光刻胶单体、光刻胶树脂和中高端光刻胶为主的国家高新技术企业。
作为光刻胶国产化时代的积极响应者,徐州博康专注于光刻胶全产业链的自主研发及生产,打造了从光刻胶单体、专用树脂、光酸及光刻胶终端产品的全产品链,主要产品已经涵盖了193nm/248nm光刻胶单体,193nm/248nm光刻胶、G线/I线光刻胶等在内的先进的集成电路光刻材料,并拥有独立的研发中心、专业的研发团队、经验丰富的中试放大及生产团队、国内最先进的光刻实验检测设备、完备的中试设备和高标准自动化的生产车间。
数据显示,徐州博康2021年主营业务收入约1.68亿元,预计2022年主营业务收入将达5亿元。
深耕行业十余年,厚积而薄发。徐州博康在半导体光刻胶领域的相关技术和工艺不断取得突破,已开发出60多款半导体光刻胶品种,品类覆盖i线、KrF、ArF干法、ArF湿法光刻胶等,其中部分产品已经实现销售收入,还有部分产品已经通过国内12寸主流晶圆厂的良率验证,进入STR与MSTR阶段。此外,最先进的Arf湿法光刻胶已经推进到了14nm,在国内居于领先地位。
为了保障下游客户的稳定供应,徐州博康新产线逐步投产。其位于邳州的光刻材料新工厂于2021年底正式投产,成功建成包含电子级溶剂、光刻胶单体、树脂及光刻胶的一体化光刻胶生产体系。
据悉,徐州博康位于邳州的新工厂规划1100吨光刻材料产能,其中光刻胶的产能有4万加仑,预计新工厂完全达产后产值20亿元,其中光刻胶单体10-12亿元、光刻胶4-5亿元。目前,该新工厂正处于产能爬坡阶段。
回顾2022年,徐州博康在光刻胶领域“捷报频频”。其自主研发的6款ArF光刻胶产品在12寸晶圆厂客户端验证,2款通过客户初步良率验证;KrF光刻胶方面,有8款产品在12寸晶圆厂客户端验证,2款通过客户初步良率验证。
展望未来,徐州博康将坚持高端光刻材料的国产化,以自主可控的供应链体系及技术开发为方向,致力于为国内半导体制造企业提供安全、可靠的产品及服务。
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