据钛媒体报道，ASML全球副总裁、中国区总裁沈波在访谈中表示，到2023年底，ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台。
沈波表示，去年ASML全球净销售额达212亿欧元，预计2023财年，公司全球销售额增长30%，将达270余亿欧元。据ASML最新季报，明后年全球半导体行业将企稳。预计到2025年，现有晶圆厂产能将会增加并有新的晶圆厂投入使用，半导体设备行业将会迎来比较大的增长，迎来需求的“高潮”。
沈波透露，“我们现在对自己产能的判断，目标是在2025年底或2026年初，具备每年500台-600台深紫外（DUV）的设备产能。”
据悉，目前，ASML在中国设有16个办事处、12个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心以及1个维修中心。ASML在中国大陆的员工总人数已经超过1600人。