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俺觉得直写工艺能同时替代对光刻机和光刻胶的需求,应大力研发
送交者: sprusr[☆★★声望品衔11★★☆] 于 2023-09-17 9:20 已读 996 次 1 赞  

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芯片的核心工艺是掺杂形成pn结,光刻不过是为掺杂服务,在晶圆表面形成掺杂用的掩膜。
涂胶 - 光刻 - 刻蚀(洗胶)都是对一次性光刻胶耗材的操作,所以光刻胶和能量耗费很大。
直写工艺类似于可复用光刻胶/掺杂掩膜,如果在先进制程上研发成功,能一举解决以上问题。
同时,对设备精度要求也大幅下降。因为掺杂掩膜的制作不涉及生产节拍,没有效率上的要求,可以通过各种手段制作以实现精度要求。
届时芯片生产将成为低功耗低成本产业。
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