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中国芯片产业的突破!新一代国产先进光刻机来了,有两个重大意义
送交者: 浩瀚宇宙[☆★★★✦★★★☆] 于 2021-09-20 19:20 已读 27490 次 66 赞  

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我国在光刻机领域一直处于弱势地位,国内芯片行业的先进光刻机一直依靠进口。《科技日报》在2018年曾经评选出35项制约我国工业发展的“卡脖子”技术,芯片和光刻机名列前二。 6park.com

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如今3年过去了,国产光刻机的困境不仅没有突破,而且还更加迫切。内地最先进的芯片制造企业曾在2018年斥资1.2亿美元向荷兰光刻机厂商ASML订购了一台EUV光刻机,至今没有到货,由此导致内地的芯片制造企业始终无法突破最先进的芯片制造工艺。 6park.com

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既然国外不给最先进的EUV光刻机,国产光刻机就必须要挺身而出了。在这方面,上海微电子是国产光刻机领域的最强代表,肩负着突破先进光刻机的重任,如今已经传来了好消息。

根据上海微电子发布的最新消息,上海微电子将推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。

目前上海微电子已经与国内多家客户达到出货协议,预计首台先进封装光刻机将于年底前交付。 6park.com

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上海微电子发布的这台光刻机具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场三大优势,可以帮助国内的芯片封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用。

另外这台光刻机还能够满足0.8-0.6微米分辨率的光刻工艺需求,套刻精度小于100nm,并且能保持长期稳定性,主要应用于高密度异构集成领域。

值得注意的是,这台光刻机是芯片封装领域所使用的光刻机,与大家所熟悉的用于前道制造的光刻机不同,但上海微电子的这台光刻机对我国的芯片封装企业有着非常大的意义。 6park.com

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一般来说,芯片产业包括了芯片设计、芯片制造和芯片封装三大环节,每一个环节都不可或缺。

与芯片制造领域一样,芯片封装也是一个高度分工的领域。目前全球前10大芯片封装测试企业当中,有5家企业来自中国台湾,其中日月光以643.28亿元的营收位居世界第一大封测企业,市场份额达到30.11%。 6park.com

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而内地同样在封测领域占据重要地位,全球前10大封测企业里有3家企业属于内地,分别是长电科技、通富微电子和华天科技。

长电科技在2020年的营收达到255.63亿元,市场份额为11.96%,位居世界第三大封测企业。通富微电子和华天科技分别以107.89亿和84亿的营收位居世界第五和第六。 6park.com

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以往国内封测企业的设备基本来自日本的佳能和尼康、荷兰的ASML,由于内地缺乏有实力的光刻机供应商,因此内地企业在光刻机的采购上就没有话语权。如之前中芯采购EUV光刻机就是一个很好的例子,花了钱能否到货还要看人家的脸色。

但是现在不一样了,上海微电子发布新一代的先进封测光刻机,有两个重要的意义。一是给国内的芯片封测企业提供一个新的选择。他们可以依靠国产设备打造一条纯国产生产线,这样就不怕某些国家的“卡脖子”行为了。 6park.com

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二是国内的封测企业面对ASML等海外光刻机供应商时,有了讨价还价的空间。无论是采购价格、设备到货时间,还是更先进的光刻机设备,都有新的可能性。

而且以海外企业打压国内竞争对手的“传统艺能”。上海微电子的先进封装光刻机一经发布,ASML或许就要降价抢夺市场了。 6park.com

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这在以往是有先例的。前几年上海中微半导体宣布成功研发出可用于5nm工艺的蚀刻机,美国的半导体设备巨头科林和应用材料马上就宣布开放设备供应限制,内地的芯片制造企业也能采购他们最先进的蚀刻机。

因此上海微电子的先进封装光刻机是有着重大突破意义的,还有一个好消息就是,上海微电子用于前道制造的28nm光刻机预计也将在年底量产,国产光刻机领域可谓是双喜临门。 6park.com

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另外这两年芯片产业发生的种种事情已经让内地的芯片企业看清了海外芯片企业和某些国家的真面目,打造纯国产的芯片产业链势在必行。即便ASML等海外光刻机巨头出手阻击上海微电子,国内芯片企业也不会让他们如愿的。 6park.com



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