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1965年中国科学院研制出65型接触式光刻机1980年追上美国
送交者: bell2020[☆★★声望品衔11★★☆] 于 2023-08-01 0:08 已读 1007 次 1 赞  

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1965年,国内科学院就研制出65型接触式光刻机。荷兰ASML公司还没成立,直到1970年荷兰ASML公司才初具雏形,1980年,清华大学研制出第四代分布式投影光刻机,精度高达3微米,已经接近国际主流水平,仅次于美国。 6park.com

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也就在这个时候,中国的光刻机技术遭遇“滑铁卢”,国人放弃了光刻机的研究,倡导对外进口,导致中国光刻机20年的研究成果付诸东流。就连一直坚持制造光刻机的武汉三厂,也改行卖食品去了。 6park.com

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21世纪台积电从荷兰ASML公司进口了55台光刻机,对大陆炫耀,我们才从造不如买清醒,再次研发了光刻机。感谢科学春天,感激改革开放。
贴主:bell2020于2023_08_01 0:12:57编辑
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