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https://www.6parkbbs.com/index.php?app=index&act=view&cid=4936296 我是被兵版拉黑的,那边见不得真话 6park.comASML的EUV光刻机的250瓦功率是到达掩膜的功率,从光源出来的功率是N千瓦,具体数值和型号相关。中间的差值来自把EUV光导向掩膜的光路中的吸收散射损耗。SSMB-EUV的功率10千瓦是光源的输出功,和ASML的光源没有量级差异。而因为从光源到掩膜更长的光路,最后的有效功率应该也就百许瓦,大概率不如ASML的有效功率高。兵板各位幻想的步枪成了机关枪并不存在。 | |||
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