3月3日，中芯国际发布公告称，2021年2月1日，公司与阿斯麦（ASML）上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，据此，阿斯麦批量采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。根据阿斯麦购买单购买的阿斯麦产品定价乃按公平基准厘定，阿斯麦购买单的总代价为12亿美元。
公告显示，中芯国际根据批量采购协议已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间，就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品与阿斯麦集团签订购买单。
中芯国际称，作为中国最先进及最大的集成电路制造商，为应对客户的需要，需继续扩大其产能、把握市场商机及增长。批量采购协议及阿斯麦购买单乃于本公司正常业务过程中就购置用于生产晶圆的相关机器作出，由于阿斯麦批量采购协议的期限已到期，本公司签订经修订和重述的阿斯麦批量采购协议。
阿斯麦是世界上少数几家制造芯片光刻机的企业，光刻机在芯片生产中极为关键。其中极紫外光刻机（EUV）仅有ASML能够生产，这种设备主要用于生产7纳米及更先进制程的芯片。不过，2020年年底，中芯国际被美国列入实体清单时，美国商务部就特别明确，将原则上拒绝向其出口EUV等支持先进制程开发的技术。
先进制程开发陷入瓶颈，但中芯国际在成熟制程工艺有突破可能。EUV光刻机外，阿斯麦也提供DUV（深紫外光）光刻机产品，面向成熟制程。在2020年进博会期间，阿斯麦ASML中国区总裁沈波接受媒体采访时表示，该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，对全球客户均一视同仁，在法律法规框架下，都将全力支持。

近日，摩根士丹利研报指出，美国设备供应商近期已经恢复了对中芯国际的零组件供应和现场服务。多家媒体报道称，供应链消息显示，中芯国际已获得部分美国设备厂商的供应许可，主要涵盖成熟工艺用半导体设备等。
此前在2020年第四季度电话财报会议上，中芯国际联合CEO赵海军表示，被列入实体清单后，公司和供应商们都在第一时间积极地申请准证，外部的不可抗拒力虽无法把控，但公司一定会在危机中遇新机，在变局中开新局，继续全力自救，始终以服务全球客户为目标。
由于美国制裁造成的供应链不确定性，中芯国际设备延期拖累扩产。中芯国际CFO高永岗在称，公司2021年上半年收入目标约21亿美元，环比持平，同比约增长15%；全年毛利率为百分之十到二十的中部，“我们给出的全年预期，是在假定运营连续性不受影响的前提下。”
根据中芯国际最新资本开支计划，2021年，公司计划资本支出进一步下降至43亿美元，其中大部分用于成熟工艺的扩产，小部分用于先进工艺（14纳米及以下工艺）、北京新合资项目的土建等。
中芯国际发布的2020年第四季度和全年财报。季内收入为9.81亿美元，环比下降9.4%，同比上升16.9%。期内归母利润为2.57亿美元，环、同比分别增长0.3%、189.7%，达到历史新高。公司CFO高永岗解释称，收入下降主要是因为先进工艺出货下降以及整体产能利用率下降